收集极平面具有孔网结构的中真空热阴极电离真空计规管

   收集极平面具有孔网结构的中真空热阴极电离真空计规管，其传感元件由两个相互平行的平面带孔网结构的平板形收集极、两个相互平行的平板形阳极和一个直丝形（或螺旋丝形，或V字形）阴极组成。收集极和阳极相互垂直，构成一个平行板盒形电极结构。阴极则位于该平行板盒形电极结构的对称轴线上。孔网的结构，包括孔数量、形状、尺寸和位置等参数和确定，以及收集极的总体尺寸及位置等参数的调整，在减少测量范围低压力端附近进行准确读值的延迟时间的同时，还确保能够收集极平面不带孔网结构的中真空热阴极电离真空计规管互换使用。

     本实用新型的这一具体的实施方案，使得具有孔网结构的平板形收集极12和具有孔网结构的平板形收集极13既具备足够大的正离子收集面积，又具备足够小的气体及污染物吸附面积。能够把在测量范围的低压力端附近的准确读值的延迟时间，大大缩短到与典型高真空热阴极电离规管相当的程度，有利于生产效率的提升。同时又能够与收集极平面不具有孔网结构的现有的中真空热阴极电离真空计规管互换，直接与存量巨大的现有中真空热阴极电离真空计配套使用，在提高测量的即时准确性的同时，又充分利用现有的人力和物力等资源，提高生产科研的工作效率，具有推广应用的便利性和市场前景。